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微機(jī)電系統(tǒng)
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GB/T 26111-2023 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 術(shù)語(yǔ)
2023-12-01
IEC 62047-30-2017 半導(dǎo)體器件--微機(jī)電裝置--第30部分:微機(jī)電系統(tǒng)壓電薄膜的機(jī)電轉(zhuǎn)換性能的測(cè)量方法 Semiconductor ...
2023-11-11
GB/T 42895-2023 正式版 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 硅基MEMS微結(jié)構(gòu)彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法
2023-11-02
GB/T 42897-2023 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強(qiáng)度試驗(yàn)方法
2023-09-23
GB/T 42896-2023 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 硅基MEMS納尺度結(jié)構(gòu)沖擊試驗(yàn)方法
2023-09-23
GB/T 42895-2023 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 硅基MEMS微結(jié)構(gòu)彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法
2023-09-23
GB/T 34894-2017 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)應(yīng)變梯度測(cè)量方法 Micro-electromechanical system t...
2023-09-11
GB/T 38446-2020 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法 Micro-electromechanical system technology--T...
2023-07-01
GB/T 34893-2017微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)面內(nèi)長(zhǎng)度測(cè)量方法
2022-06-10
GB/T 34898-2017微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS諧振敏感元件非線性振動(dòng)測(cè)試方法
2022-06-09
單片集成MEMS技術(shù)
2020-10-30
生物質(zhì)燃料電池的研究進(jìn)展
2020-06-12
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