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微機電系統(tǒng)
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GB/T 26111-2023 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 術語
2023-12-01
IEC 62047-30-2017 半導體器件--微機電裝置--第30部分:微機電系統(tǒng)壓電薄膜的機電轉換性能的測量方法 Semiconductor ...
2023-11-11
GB/T 42895-2023 正式版 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 硅基MEMS微結構彎曲強度試驗方法
2023-11-02
GB/T 42897-2023 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法
2023-09-23
GB/T 42896-2023 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 硅基MEMS納尺度結構沖擊試驗方法
2023-09-23
GB/T 42895-2023 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 硅基MEMS微結構彎曲強度試驗方法
2023-09-23
GB/T 34894-2017 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 基于光學干涉的MEMS微結構應變梯度測量方法 Micro-electromechanical system t...
2023-09-11
GB/T 38446-2020 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法 Micro-electromechanical system technology--T...
2023-07-01
GB/T 34893-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 基于光學干涉的MEMS微結構面內長度測量方法
2022-06-10
GB/T 34898-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法
2022-06-09
單片集成MEMS技術
2020-10-30
生物質燃料電池的研究進展
2020-06-12
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