本文件界定了微機(jī)電系統(tǒng)器件及其生產(chǎn)工藝相關(guān)的術(shù)語(yǔ)和定義。本文件適用于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究、開(kāi)發(fā)、評(píng)測(cè)和應(yīng)用。 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 26111-2023 標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)術(shù)語(yǔ) 英文名稱：Micro-electromechanical system technology—Terms 發(fā)布日期：2023-05-23 實(shí)施日期：2023-09-01 替代標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 26111-2010 采用標(biāo)準(zhǔn)：IEC 62047-1:2016《半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件第1部分:術(shù)語(yǔ)和定義》 MOD 修改采用 起草人：顧楓、宋秀敏、李根梓、孫立寧、張大成、夏長(zhǎng)奉、夏善紅、董全林、張衛(wèi)平、胡曉東、劉會(huì)聰、邢朝洋、劉奎、熊斌、張永斌、張威、崔波、陳得民、王瑋冰、明志茂、李曉波、SHUMINZHANG、張賓、張勝兵、楊飛、高峰 起草單位：中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司、西安知微傳感技術(shù)有限公司、蘇州大學(xué)、北京大學(xué)、無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司、中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院、北京航空航天大學(xué)、上海交通大學(xué)、天津大學(xué)、北京航天控制儀器研究所、西安現(xiàn)代控制技術(shù)研究所、中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、北京晨晶電子有限公司、天津新智感知科技有限公司、 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所、廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司、南京高華科技股份有限公司、杭州左藍(lán)微電子技術(shù)有限公司、廣州奧松電子股份有限公司、華東光電集成器件研究所、江蘇普諾威電子股份有限公司、明石創(chuàng)新(煙臺(tái))微納傳感技術(shù)研究院有限公司 歸口單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 336)