本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于光學(xué)干涉顯微鏡獲取的微懸臂梁結(jié)構(gòu)表面形貌進(jìn)行應(yīng)變梯度測量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于表面反射率不低于4％且使用光學(xué)干涉顯微鏡能夠獲取表面形貌的微懸臂梁結(jié)構(gòu)。GB/T 34894-2017 　 微 機(jī) 電 系 統(tǒng) （ MEMS ） 技 術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu) 　　　應(yīng)變梯度測量方法 Micro-electromechanical system technology-Measuring method 　 for strain gradient measurements of MEMS microstructures 　 　 　 　 　 　 　 　 using an optical interferometer 2017-11-01發(fā) 布 2018-05-01實(shí) 施 廠 ” ＼ 土 查 鈔 眇 型 國 罔 褰 質(zhì) 蘋 晦 腎 憾 蹬 簪 廈 發(fā) 布 絮 藩 ／ 甲 幽 國 豕 懷 催 怕 官 理 安 貝 云 GB/T 34894-2017 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？