GB/T 33523.604-2022 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第604部分:非接觸(相干掃描干涉)式儀器的標(biāo)稱(chēng)特性
- 標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)別:[GB] 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
- 標(biāo)準(zhǔn)大小:
- 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):GB/T33523.604-2022
- 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
- 更新時(shí)間:2023-04-04
- 下載次數(shù):次
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本文件規(guī)定了用于表面高度三維映射的相干掃描干涉(CSI)測(cè)量系統(tǒng)的計(jì)量特性。
標(biāo)準(zhǔn)截圖
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