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GB/T 29057-2023 用區(qū)熔拉晶法和光譜分析法評價(jià)多晶硅棒的規(guī)程

標(biāo)準(zhǔn)類別：[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
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標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 29057-2023 用區(qū)熔拉晶法和光譜分析法評價(jià)多晶硅棒的規(guī)程
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
更新時(shí)間：2023-09-18
下載次數(shù)：次

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本文件規(guī)定了多晶硅棒取樣、將樣品區(qū)熔拉制成單晶以及通過低溫紅外光譜法或光致發(fā)光光譜法對拉制好的單晶硅棒進(jìn)行分析以確定多晶硅中施主、受主、代位碳和間隙氧雜質(zhì)含量等的規(guī)程。本文件適用于評價(jià)硅芯上沉積生長的棒狀多晶硅。替代GB/T 29057-2012

標(biāo)準(zhǔn)截圖

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