本文件界定了微機電裝置的通用、科學與工程、材料科學、功能元素、加工技術(shù)、鍵合裝配技術(shù)、測量技術(shù)和應用相關(guān)術(shù)語。
本文件適用于微機電技術(shù)領(lǐng)域。T 2900.104-2021/IEC 60050-523:2018 電工術(shù)語微機電裝置 Electrotechnical terminology-Micro-electromechanical devices U EC 60050-523:2018, International electrotechnical vocabulary- 　 　 　 　 　 Part 523: Micro-eletromechanical devices, IDT) 2021-10-11發(fā) 布 2022-05-01實 施 翅 臆 艨 鞲 艘 髂 ‘ “ 刮 ‘ ＃ ‘ 愿 0廠 偽 GB/T 2900.104-2021/IEC 60050-523:2018 刖 舀 　　本文件按照GB/T 1.1-2020《 標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則 》 的規(guī)定 起草 。 　　本文件是GB/T 2900《 電工術(shù)語 》 的第104部分 。 GB/T 290