本文件描述了離子束輻照誘導應變技術構建三維納米結構與器件的加工方法，主要包括加工原理、材料與設備、環(huán)境條件、加工方法。 本文件適用于離子束輻照誘導直立納米線和平面納米薄膜的空間應變，進而實現(xiàn)三維空間中由一維納米線和二維納米薄膜構成的三維納米結構與器件。