本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體材料多線切割機(jī)的術(shù)語和定義、產(chǎn)品分類和規(guī)格、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于切割單晶硅、多晶硅、鍺以及藍(lán)寶石等各種硬脆性半導(dǎo)體材料的多線切割機(jī)。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以壓縮空氣為工作介質(zhì)的真空發(fā)生器，根據(jù)噴管種類可分為壓力型和流量型。