標準簡介
本文件規(guī)定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的牌號及分類技術要求、試驗方法檢驗規(guī)則.標志、包裝運輸.貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。 本文件適用于生產(chǎn)電力電子器件﹑射頻微波器件及IED發(fā)光器件的外延材料用碳化硅單品拋光片。 代替GB/T 30656-2014
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