GB/T 25915.15-2022 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第15部分：按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性

標(biāo)準(zhǔn)類別：[GB] 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)大小：
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T25915.15-2022
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
更新時(shí)間：2023-04-18
下載次數(shù)：次

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本文件規(guī)定了評(píng)定潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中設(shè)備和材料的適用性要求，提供了指南。本文件不適用于以下內(nèi)容：健康和安全要求，清潔劑及清潔技術(shù)的相容性，清潔性，生物污染，工藝和產(chǎn)品對(duì)設(shè)備和材料的特定要求，設(shè)備的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)。

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