本文件適用于硼錦、砷磷的摻雜濃度小于1X10（20）cm-3(0.2%)的硅單晶中氮含量的測定，測定范圍不小于1X10（14）cm-3
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GB/T 42263-2022 硅單晶中氮含量的測定 二次離子質(zhì)譜法 GB/T 42263-2022 硅單晶中氮含量的測定 二次離子質(zhì)譜法

GB/T 42263-2022 硅單晶中氮含量的測定 二次離子質(zhì)譜法

  • 標(biāo)準(zhǔn)類別：[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
  • 標(biāo)準(zhǔn)大小：
  • 標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T42263-2022
  • 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
  • 更新時間：2023-03-16
  • 下載次數(shù)：次
標(biāo)準(zhǔn)簡介

本文件描述了硅單晶中氮含量的二次離子質(zhì)譜測試方法。 本文件適用于硼錦、砷磷的摻雜濃度小于1X10（20）cm-3(0.2%)的硅單晶中氮含量的測定，測定范圍不小于1X10（14）cm-3 注:硅單晶中氮含量以每立方厘米中的原子數(shù)計。

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