HG/T 5962-2021 硅片切割廢液處理處置方法

標準簡介

本文件規(guī)定了硅片切割廢液（漿）的組成、處理處置方法、環(huán)保排放要求。
本文件適用于硅片切割生產(chǎn)線產(chǎn)生的切割廢液（漿）的處理處置。

標準截圖

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