本標準代替GB/T14851-1993《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》。本標準與GB/T14851-1993相比主要變化如下:---修改規(guī)范性引用文件(GB/T14851-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術指標內容(GB/T14851-1993的第3章,本版的第3章);---增加電子工業(yè)用磷化氫采樣安全要求(本版的4.1.2);---增加尾氣處理的要求(本版的4.3);---修改砷化氫、氮、氧(氬)組分的分析方法(GB/T14851-1993的4.2、4.5、4.6,本版的4.3);---刪去氫的分析方法(GB/T14851-1993的4.4);---修改二氧化碳、總烴含量的分析方法(GB/T14851-1993的4.3,本版的4.5、4.6);---增加一氧化碳的分析方法(見4.5);---增加標準樣品的規(guī)定(見4.7);---修改水分的分析方法(GB/T14851-1993的4.7,本版的4.8);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14851-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---刪去GB/T14851-1993的附錄A;---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用磷化氫中的砷化氫、氮、氧(氬)組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標準的附錄A 為規(guī)范性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。本標準起草單位:中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院。本標準主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14851-1993。