本標準修改采用SEMIMF13910704《硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法》。本標準與SEMIMF13910704的主要差異如下:---本標準在結(jié)構(gòu)上主要依照我國國標編制格式,與SEMIMF13910704有所不同;---本標準未引用偏差、關(guān)鍵詞兩章內(nèi)容。本標準代替GB/T1558-1997《硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法》。本標準與原標準相比主要有以下變化:---對測量的碳原子含量有效范圍進行了修改,室溫下從硅中代位碳原子含量5×1015at·cm-3(0.1ppma)到碳原子的最大溶解度,77K 時檢測下限為5×1014at·cm-3(0.01ppma);---補充了術(shù)語、干擾因素報告三章;---在操作步驟中增加了儀器檢查內(nèi)容。本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出。本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。本標準負責起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、中國電子科技集團公司第四十六研究所、峨嵋半導(dǎo)體材料廠。本標準主要起草人:何秀坤、李靜、段曙光、梁洪。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T1558-1979、GB/T1558-1997。