本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14264-1993《半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14264-1993相比,有以下變化:---增加了218項(xiàng)術(shù)語(yǔ);---增加了三個(gè)資料性附錄:包括61項(xiàng)硅技術(shù)術(shù)語(yǔ)縮寫、11項(xiàng)符號(hào)和標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語(yǔ)出處;---修改了原標(biāo)準(zhǔn)中86項(xiàng)術(shù)語(yǔ)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 和附錄B為資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位:中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所、有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、杭州海納半導(dǎo)體有限公司和國(guó)瑞電子材料有限責(zé)任公司。 本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位:洛陽(yáng)單晶硅有限責(zé)任公司、峨眉半導(dǎo)體材料廠、寧波立立電子股份有限公司、南京國(guó)盛電子有限公司、南京鍺廠有限責(zé)任公司、萬(wàn)向硅峰電子股份有限公司、云南東興集團(tuán)、西安驪晶電子技術(shù)有限公司、中科院半導(dǎo)體所、上海合晶硅材料有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:孫燕、黃笑容、向磊、翟富義、盧立延、鄭琪、鄧志杰、賀東江。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14264-1993。