科技博覽直拉單晶上排氣熱場與下排氣熱場分析連文翠(614200東方電氣集團峨嵋半導體材料有限公司)摘要:單晶硅發(fā)展前景;單晶硅生產方法簡介;單晶硅在單晶硅拉制過程中,連續(xù)冋單贔爐膛充亼等量的髙純氬氣生產工藝流程;單晶爐熱場介紹;上排氣熱場和下排氣熱場分析;同時真空泵不斷地從爐膛內向外抽氣,保持爐膛內壓力穩(wěn)定氬氣無毒、無色、無味,不能燃燒,也不能助燃,是一關鍵詞:單晶硅;工藝流程;熱場;排氣種惰性氣體。直拉單晶生產中,要求使用高純氬氣,露點≤55℃。氬氣在直拉單晶硅生長過程中使熔硅的表面穩(wěn)定、固液、單晶硅生產方法界面平坦,有利于單晶的正常生長。氬氣還能夠及時的帶走熱目前單晶硅行業(yè)中主要釆用的有兩種生長單晶硅的方法。場中產生的氧、碳等多種揮發(fā)物,保證單晶的質量Czochralski法(簡稱CZ法),和 Float zone法(簡稱浮熔法,或(2)下排氣熱場。下排氣熱場組成主要包括:壓環(huán)、保溫蓋FZ法)。CZ法生長出來的單晶硅,主要用來生產低功率的集成上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、電路;FZ法生長出來的單晶硅,主要用來生產高功率的電子元加熱器、導流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電件。CZ法單晶硅大約占了總產量的85%。極、托桿、都設置了保護板、保護套。下排氣熱場的設計:保、直拉單晶硅工藝流程證熱場符合直拉單晶硅所要求的縱向及徑向溫度梯度的前提下,作業(yè)準備→熱態(tài)檢漏→取單晶和籽晶→石墨件取出冷卻→在下保溫罩與單晶爐兩個抽氣口相對應的地方開兩個排氣口真空過濾器清洗→真空泵油檢査更換→石墨件清洗→單晶爐室通過真空泵的抽氣作用,將帶有揮發(fā)物的氣體抽離單晶熾清洗→石墨件安裝→石英坩堝安裝→硅料安裝→籽晶安裝→扣下排氣熱場氣體流向:氣流方向可以看出,氬氣從導流筒空、檢漏→充氬氣、升功率、熔料→引晶、縮頸、放肩、轉肩上方通到熔體液面,拉晶過程中產生的廢氣(氬氣及揮發(fā)物)→等徑生長→收尾→降功率、停爐冷卻經加熱器和保溫桶的間隙,最終從下保溫罩的開口部分,通過直拉單晶爐熱場管道被真空泵抽走。直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場,是指為了熔化(3)上排氣熱場。上排氣熱場結構圖。上排氣熱場組成與硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統(tǒng)。它包下排氣熱場幾乎相同,包括:壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩括加熱器、保溫罩、保溫蓋、石墨坩堝、電極等部件,它們是石墨坩堝、坩堝托杄、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石由耐高溫的髙純石墨和碳氈材料加工而成的。煅燒時,熱系統(tǒng)墨螺栓、保護板、保護套。上排氣熱場的設計:保證熱場符合內的溫度相對穩(wěn)定,稱為靜態(tài)熱場;在單晶生長過程中,熱場直拉單晶硅所要求的縱向及徑向溫度梯度的前提下,在上保溫是會發(fā)生變化的,稱為動態(tài)熱場。罩的中部均勻地開12個排氣口,通過真空泵的抽氣作用,將帶熱場的優(yōu)劣對單晶硅的質量有很大影響。合適的熱場,能有揮發(fā)物的氣體抽離單晶爐。上排氣熱場氬氣流向與下排氣熱夠生長出高質量的單晶。不好的熱場容易使單晶變成多晶,或場不同:氬氣從導流筒上方通到熔體液面,拉晶過程中產生的者根本無法引皛。因此,找到較好的熱場條件,配置最佳的熱場,廢氣(氬氣及揮發(fā)物)經上保溫罩的12個排氣孔,沿著保溫罩是非常重要的直拉單晶工藝技術。與爐壁的間隙,通過管道被真空泵抽走四、熱場溫度梯度六、下排氣熱場和上排氣熱場比較溫度梯度是指熱場中某點A的溫度指向周圍鄰近某點B的通過下排氣熱場和上排氣熱場的結構以及氣流方向分析可溫度的變化率。也即單位距離內溫度的變化率。以得出各自的特點。如圖1所示,A點到B點的溫度變化為T2-T1,距離變化為下排氣熱場優(yōu)點:設計的兩個排氣孔位于下保溫罩上,氣r2-1。那么A點到B點的溫度梯度為“=五,通常用“表示流方向沿著加熱器和保溫桶間隙通過。因為氣流不經過爐壁這種溫度在r方向上的變化率。對單晶爐爐壁的損害很小,上面殘留的氧化物少,清掃比較方便;T單晶爐設備的使用壽命也比較長下排氣熱場缺點:由于氣流在上保溫罩位置聚集,容易出現氧化物排走不暢,造成拉晶過程中有雜質掉入堝內的現象造成單晶成品率下降以及拉晶時間過長等弊端。更重要的是圖1:溫度梯度氣流對加熱器、保溫桶等石墨件的沖刷,會導致石墨件的使用合理的熱場的溫度分布需要滿足以下條件:①晶體中縱向壽命大大降低,石墨件的成本很高。氣流經過加熱器,會帶走溫度梯度足夠大,但不能過大,保證晶體生長中有足夠散熱能一部分熱量,導致拉晶過程中的電耗比較高。力,帶走結晶潛熱。②熔體中的縱向溫度梯度比較大,保證熔上排氣熱場優(yōu)點:上保溫罩上面設計出12個排氣孔,這些體內不產生新的晶核,但是,過大容易產生位錯,造成斷苞。排氣孔保證在高溫下蒸發(fā)的氣體的排出,該熱場通過強制改變③結晶界面處的縱向溫度梯度適當的大,從而形成必要的過冷保護氣體對流,降低加熱器熱量輻射而節(jié)省電能消耗。該熱場度,使單晶有足夠的生長動力,不能太大,否則會產生結構缺陷;改變保護氣體的對流方式,確保了惰性氣體順利帶走單晶硅結徑向溫度梯度要盡可能小,使結晶界面趨于平坦晶時散發(fā)的結晶潛技化硅顆粒.有效免了一氧化硅顆五、下排氣熱場和上排氣熱場分析粒再次掉入溶液中國煤化工了因晶體位錯而(1)熱場中的氬氣。直拉法生產硅單晶工藝盡管種類繁多,導致的單晶硅CNMHG象的出現,能但大體可分為:真空工藝、氣氛工藝和減壓拉晶工藝。減壓拉夠有效的提高單晶學,也能吵到電E。晶工藝在目前直拉單晶硅生產過程中被普遍采用。減壓拉晶是下排氣熱場缺點:這種熱場也有不足的地方,由于氣流要220信息技術微課在信息技術教學 Powerpoint中的運用莫順天黃嶺娜(547008廣西壯族自治區(qū)河池市金城江區(qū)六圩鎮(zhèn)初級中學廣西河池)摘要:網絡信息時代教育的培養(yǎng)目標除了要求學生具(三)讓學生在課堂上喜歡微課是提高教育質量重要信息有德智體全面發(fā)展的基本素養(yǎng)外,還要培養(yǎng)良好的基于網絡的途徑自學習慣,實現從教師為中心向學生為中心的教學模式轉變。在教學中,充分運用網絡資源,增強課程吸引力,激發(fā)學教師在進行傳統(tǒng)課堂有時已不能滿足學生課堂需要了,我們要生探究知識的興趣,加深并鞏固學生對知識點的認識,促進學對現代的課堂重新定位——翻轉課堂。微課就能很好運用于這生自我學習能力,從而有效提高課堂教學效益,微課作為網絡種課堂教學模式,它既能代替課堂的新知識教學。又由于它不資源最基礎、最生動、最形象的在線課程有著至關重要的意義,受時間、空間的限制,所以它可以在網絡上在線課后輔導,微成為一種全新的教學方法。學生通過研究性學習活動,形成課時間須嚴格控制在十分鐘以內。本文主要講述的是微課程在種積極的、生動的、自主合作探究的學習方式即自主探究方式。Power Point的運用,及其在信息技術教學中的應用,從而給教利用網絡資源培養(yǎng)并提高學生的信息能力,提升學生素質。為學提供一定的借鑒和指導。此教師可根據教學進度和教學內容,經常地適時組織學生到電關鍵詞:微課作用;網絡;信息技術教學;Pω wer point.運用子閱覽室進行自主網絡探究。所以我們應該充分發(fā)揮微課程的作用,讓學生有一個有效的“解惑”方法、校園網完善是微課活躍于課堂先決條件微課在多媒體課件 Power Point中的普遍使用,大向45分鐘要質量”,這句話已不能充分展示現學校的代大提高了提高課堂教學化教育了,社會教育網絡化發(fā)展的趨勢,已在我們教育教學中如何能有效解決實際教學問題;具有針對性地解惑、啟惑有著不可缺少的教學工具了,近兩年來在教育部通過網絡對教能調動學習者學習的主動性。微課的引入,什么是微課呢?微師教育技術能力提升進行培訓,發(fā)現¨翻轉課堂”不斷岀現在課作為一種媒體,微課程是指利用5~8分鐘時間講解一個重人們的視野中課堂上,實踐證明在“翻轉課堂”教育教學中“微要的知識點、考點或難點或者一個活動的制作過程的一種微視課”是學生解決在課堂中遇到的難點的最好方法,特別是如今頻。對于在校教師而言利用PPT來制作的課件是一種常用的教國家對教育重視在全國農村中小學校實現了“三通兩平臺學手段。在微課程中,PF課件既可以課件的形式供學生使用切實實現了“班班通”、“校校通”,交互式電子白板走進教室,可將PP課件轉換成視頻文件格式,或直接利用 Power point2010完善的校園網絡建設是利用豐富的網絡教學資源的先決條件,的另存為命令,將PP課件直接存儲為視頻文件,可以運用最并為教育教學效率的提高打下了良好基礎普遍的 Power point軟件來制作微課程。將一節(jié)課中的重點知識微課程在信息技術的作用,促進教師技術能力提升,點拆分成一個個相對獨立的微小學習片段,這樣就能充分發(fā)揮提高了課堂教學質量10分鐘以把本節(jié)課內難點通過這個微課程呈現在學生前面,讓(一)豐富的微課資源是提高學校教學效率重要保障學生最快速度吸收了本節(jié)課的精華部分,提高了教學質量,通面對豐富的網絡資源及現代化的網絡技術條件,網絡化的過網絡形式幫助有需要的學生在課下進行自主學習,既節(jié)省了教學以其獨有的特點,迅速、準確地進行新知識的教學活動。課堂時間,又能解決學生在課堂上沒有弄懂的疑問,方便學生就要將其充分運用于教學,為教學服務,網絡化的教學卻也能網絡在線學習。實驗證明微課程在PP中的應用方便簡捷,教以其獨有的特點,迅速、準確地進行新知識的教學活動,從而師能在短期內學會并用于教學課堂教學,使學生得以受惠,學最終有利于學校教學效率的提高。生成績有了質的變化二)教師網絡應用能力與微課資源有機結合,促進教育在PPT制作的課件中使用微課程,對課堂教學達到事半功教學的飛速發(fā)展倍效果,微課作為一種新的教學方式在PT中使用,具有教學要想將網絡資源中微課程資源充分運用于教學,為教學服信息資源主題鮮明、短小精悍、針對性強,對知識點的講解透務,就需要我們廣大的教師具有較高的與之相適應得計算機水徹等特點。學生可借助微課進行有針對性的學習,在較短的時平,這對廣大教師來說無疑是一個挑戰(zhàn)。現在中國上下都在面間內進行新知的學習或者對已學的知識進行鞏固和補漏,從而臨著中老交接問題,教師隊伍中年比例重,充分發(fā)惲中青年教實現個性化教學,提髙教學效果。微課是一種符合時代要求的師對他們進行計算機能力培訓,在學校定期開展計算機網絡應產物,當然微課在國內發(fā)展仍處于起步階段,但前景無限,它課件制作的培訓,使之達到熟練應用和制作的目的,提高能推動教師培訓和學生學習方式的改變,通過微課這種手段可了網絡資源的利用率,從而整體提高了教育教學水平。以使我們的課堂更加的快樂更高效。經過單晶爐的爐壁,由氣流帶出的許多揮發(fā)物會殘留在爐壁上上排氣熱場,都能夠找到適合的方案;有效地提高直拉單晶硅面,拉晶過程中爐壁的溫度也會因為熱氣流的經過而變高,對的成品率,降低生產過程中的電耗,延長熱場的使用壽命單晶爐的穩(wěn)定運行產生影響,進而會影響到單晶硅的穩(wěn)定生長;參考文獻還可能因為溫度過高,使單晶爐設備造成一定損害,降低單晶[1]黃鋒,陳瑞潤,中國煤化工的研究現狀與爐的使用壽命發(fā)展趨勢U特種H器5-930七、結束語2鄧志杰,硅單晶科久U,神月重偶,2000,24(5):309總之,熱場結構不是一成不變的,不論是下排氣熱場還是一37-221